1、產品概述

螺桿干式真空泵是通過泵腔內一對作等速反向旋轉螺桿的嚙合作用，完成從吸入氣體、壓縮氣體到排出氣體 而形成高真空過程。即兩個旋向相反的非接觸螺桿型轉子在泵腔內做等速反向旋轉。當螺桿旋轉時，在螺桿真空 泵的進口處吸入一定體積量的氣體，氣體被壓縮并輸送到真空泵的排出口處被排出。由于泵的二個螺桿之間以及 螺桿與泵腔之間均無接觸，泵腔內不需要潤滑油。用于潤滑齒輪和軸封的潤滑油通過軸封與泵腔密封。泵的冷卻 可以通過循環冷卻水直接冷卻或者通過帶有風扇及散熱器的冷卻裝置進行冷卻。

螺桿干式真空泵采用了特殊設計的螺桿轉子型線，與普通型線螺桿泵比較，降低30%左右的能耗，排氣端溫 度在100℃左右，產品運行的可靠性、穩定性大大提高，可以適合任何工況的抽真空需要。

可以廣泛應用于化工制藥行業的溶劑回收、真空干燥、濃縮、結晶、蒸餾等工藝，塑料橡膠行業的真空擠出、成

型等，冶金行業真空脫氣；太陽能、微電子、鋰電池等行業的真空脫氣、干燥等。

2、主要特點

1、螺桿轉子采用變螺距結構設計，極限真空可達1Pa 以下，可以滿足從大氣到高真空的各類真空處理。

2、泵腔內無油可以適應各種特殊工況可靠使用；

3、可以適應從大氣到幾帕壓力范圍內長期可靠運行；

4、運動部件之間無摩擦，結構簡單操作、使用維護成本更低；

5、使用氮氣及唇形復合密封，可靠性好、使用成本低、維修簡單；

6、轉子經高速動平衡，采用法蘭連接電動機，同心度高、振動小、噪聲低；

7、過流部分采用哈氏合金防腐涂層，可凝物在泵腔內不易凝結，耐腐蝕性更好。

8、與油封泵、液環泵及油封泵相比較，無廢氣、無廢液、無廢油排放，節能環保運行。

可單獨使用也可與羅茨真空泵、氣冷羅茨真空泵、分子真空泵等組成無油高真空獲得設備。

3、結構及工作原理圖

(1) 結構圖

4、主要材料

5、標準配置

機座、泵頭、聯軸器、電機、開車濾網、進氣口接頭、止回閥；

可選配件：

進氣口過濾器、進氣口冷凝器、溶劑沖洗裝置、氮氣吹掃裝置、氮氣密封裝置、接氣口冷凝器、電磁充氣閥、

冷卻水流量開關、溫度傳感器、壓力變送器、真空計、手動充氣閥排氣口消聲器；

6、典型應用

真空鍍膜

 冶金

化工、制藥

風洞試驗 

鋰電池

太陽能

真空鍍膜

冶金

尾氣回收

微電子行業

電力行業

工業爐

干燥工藝